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          愛發(fā)科干式真空泵PKS-070

          產(chǎn)品簡介:

          愛發(fā)科干式真空泵PKS-070用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程

          瀏覽次數(shù):6082

          更新時間:2025-10-10

          產(chǎn)品產(chǎn)地:日本

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          愛發(fā)科干式真空泵PKS-070

          愛發(fā)科干式真空泵PKS-070 

          不良現(xiàn)象及原因分析

          1、不良現(xiàn)象:真空泵運行過載報警。

          2、原因分析:

          經(jīng)對真空泵進行拆解, 發(fā)現(xiàn)以下幾個問題點:

          不良現(xiàn)象 原因分析

          (1)轉(zhuǎn)子軸套部磨損:

          因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。

          (2)泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳:

          因泵軸承損壞,轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫,齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。

          (3)軸承磨損:

          因軸承潤滑脂失效,軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。

          (4)軸封磨損:

          因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。

          (5)軸套磨損:

          因高溫運行,軸封密封部硬化,與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。

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